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共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè)，精準測量晶圓激光鐳射槽的三維輪廓
2023-05-04 半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片，然后再分割成各個單元，最后再進行封裝和焊接，因此對晶圓切割槽尺寸進行精準控制和測量，是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。共聚焦顯微鏡能應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝，能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進行非接觸式掃描并重建三維形貌。共聚焦顯微鏡具有高光學(xué)分辨率，通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細致觀察到晶圓表面的特征情況，例如：觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率，軟件自動捕捉特征邊緣進行二維尺寸快...智能化驅(qū)使下，中圖儀器光學(xué)3D成像測量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用
2023-04-21 3D成像技術(shù)實現(xiàn)了二維到三維的升級。智能化制造下，具有3D成像功能的機器視覺系統(tǒng)可以更快，更準確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場的組件。其中表面形貌的3D測量，包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量，是微納結(jié)構(gòu)測量最為基礎(chǔ)和重要的項目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運用非接觸式測量技術(shù)的3D光學(xué)檢測儀器，大多是基于光學(xué)方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現(xiàn)微納級測量，在微納米結(jié)構(gòu)檢測中有著重要意義。...SJ5780輪廓掃描測量儀全自動在線檢測航空發(fā)動機連接螺紋
2023-04-21 航空發(fā)動機是一種高度復(fù)雜的精密熱力機械。作為飛機飛行的動力，高性能航空發(fā)動機追求的是在有限的自身重量和工作空間，以及惡劣的工作條件下，達到長期穩(wěn)定的服役性能，所以它的設(shè)計、材料與制造技術(shù)的進步起著關(guān)鍵性的作用。在航空發(fā)動機上，存在較多的通過螺紋連接方式連接的部件，所以作為發(fā)動機零部件之間的連接，對高強度連接螺紋的加工精度和表面質(zhì)量要求很高。中圖SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測量儀是一款大量程、高精度的主動掃描式綜合輪廓測量儀，可對航空發(fā)動機零部件高強度連接螺紋工件實現(xiàn)現(xiàn)場全...共聚焦顯微鏡——光伏產(chǎn)業(yè)制造智能化測量新技術(shù)
2023-04-17 我國智能光伏應(yīng)用持續(xù)升級，產(chǎn)業(yè)各環(huán)節(jié)產(chǎn)量又創(chuàng)新高。根據(jù)光伏行業(yè)規(guī)范公告企業(yè)信息和行業(yè)協(xié)會預(yù)測的數(shù)據(jù)來看，全國多晶硅、組件產(chǎn)量同比增長均超過60%，晶硅電池產(chǎn)品出口同比增長超過156%。作為全尺寸鏈精密測量儀器制造商，為加快推進產(chǎn)業(yè)智能制造和現(xiàn)代化水平，有效提升光伏產(chǎn)業(yè)智能制造水平，中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡可以為太陽能行業(yè)實驗室和生產(chǎn)過程檢測需求服務(wù)，提供從二維到三維的多尺度檢測手段。VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對...關(guān)注公眾號，了解最新動態(tài)
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三坐標測量儀