97精品国产自产在线-中文字幕在线一区乱码-国内尤物视频在线观看-亚洲综合久久激情久久

0755-83318988
PRODUCTS CENTER

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測量儀臺階儀NS200晶圓探針式輪廓儀臺階儀
晶圓探針式輪廓儀臺階儀

產(chǎn)品簡介

Nano Step系列晶圓探針式輪廓儀臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

產(chǎn)品型號:NS200
更新時間:2024-07-22
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:762
詳細(xì)介紹在線留言

Nano Step系列晶圓探針式輪廓儀臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

晶圓探針式輪廓儀臺階儀

NS系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。


產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1)臺階高度:能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù)。

3)應(yīng)力測量:可測量多種材料的表面應(yīng)力。

2.測量模式與分析功能

1)單區(qū)域測量模式:完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點和掃描長度,即可開始測量。

2)多區(qū)域測量模式:完成Focus后,根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十?dāng)?shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式,一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3)3D測量模式:完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設(shè)置,一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機(jī),在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑,在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實時跟進(jìn)掃描軌跡。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針,當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時,可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,確保換針后的精度和重復(fù)性,減少維護(hù)煩惱。

晶圓探針式輪廓儀臺階儀

磁吸針實物外觀圖(330μm量程)


NS系列晶圓探針式輪廓儀臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng),其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。


典型應(yīng)用

晶圓探針式輪廓儀臺階儀


部分技術(shù)參數(shù)

型號NS200
測量技術(shù)探針式表面輪廓測量技術(shù)
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

在線留言

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7

關(guān)注公眾號,了解最新動態(tài)

關(guān)注公眾號
0755-83318988

Copyright © 2025 深圳市中圖儀器股份有限公司版權(quán)所有

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    sitemap.xml

備案號:粵ICP備12000520號

亚洲综合精品国产av| 国产三级三级三级久久| 毛片一区二区三区四区精品| 中文字幕av有码在线| 日韩黄片在线观看免费| 在线日本免费一区二区| 欧美高清黄色高清视频| 亚洲精品福利国产av| 国产成人免费在线播放视频| 亚洲深夜精品福利一区| 欧美一区二区三区久久精品视| 午夜福利婷婷国产一区| 亚洲伊人影院av一区| 欧美日韩精品人妻二区三区| 久久综合国产一区二区三区| 九九热视频免费在线播放| 一区二区日韩精品电影| 老熟妇人妻av中文字幕| 国产老熟女伦老熟女| 日本人妻久久精品欧美一区| 日韩精品在线视频免费看| 国产男女无遮挡猛进猛| 三级在线一区二区三区| 亚洲av成人国产精品| 黄色av影视免费网| 日韩中文字幕丝袜办公室| 最刺激的欧美三级网站| 懂色av一区二区三区观看| 亚洲乱码中文字幕高清| 草青视频在线播放免费| 久久精品这里只有久久| 日韩av一区二区在线观看不卡| 午夜福利激情视频在线播放| 色婷婷丁香,开心六月| 国产精品久久久久久精品三级1| 亚洲国产欧美日韩精品一区二区| 性生活在线免费视频观看| 国产男女做爰免费看视频| 人妻一区二区三区系列| 国内偷自第一区二区三区| 欧美精品一区二区在线免费|