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當前位置:首頁產(chǎn)品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000中圖高精度激光干涉儀
中圖高精度激光干涉儀

產(chǎn)品簡介

SJ6000中圖高精度激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

產(chǎn)品型號:SJ6000
更新時間:2024-06-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:762
詳細介紹在線留言

SJ6000中圖高精度激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。

中圖高精度激光干涉儀

SJ6000中圖高精度激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,在機床加工領域有著廣泛的應用。


產(chǎn)品應用

1.測量機床導軌的直線度和平行度。

中圖高精度激光干涉儀

導軌是機床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

中圖高精度激光干涉儀

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài),并及時進行調(diào)整和修正,確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

中圖高精度激光干涉儀

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求,從而為后續(xù)的機床調(diào)整和校準提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應用,激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系,從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài),保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。

中圖高精度激光干涉儀

對數(shù)控機床進行螺距誤差補償


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

中圖高精度激光干涉儀

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

中圖高精度激光干涉儀


部分技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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