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臺階膜厚儀

產(chǎn)品簡介

中圖儀器NS系列臺階膜厚儀是一種常用的膜厚測量儀器,它是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

產(chǎn)品型號:NS200
更新時間:2024-07-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:962
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中圖儀器NS系列臺階膜厚儀是一種常用的膜厚測量儀器,它是利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。

臺階膜厚儀

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;

2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數(shù);

3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1)自定義測量模式:支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式;

2)導(dǎo)航圖智能測量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù)、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現(xiàn)掃描的測量模式。

3)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進行即時的高精度定位測量。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉(zhuǎn)平臺和電動升降Z軸,可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進行調(diào)節(jié),提高測量精度及效率。

臺階膜厚儀

NS系列臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,NS200臺階儀提供如下便捷功能:

1)結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標(biāo)志位;

2)對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現(xiàn)一鍵多點位測量;

3)提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢;

臺階膜厚儀

產(chǎn)品特性

1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性,滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調(diào)

測力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運動中的細微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺, Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺

6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。


典型應(yīng)用

臺階膜厚儀

部分技術(shù)參數(shù)

型號NS200
測量技術(shù)探針式表面輪廓測量技術(shù)
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環(huán)境

相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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