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NS200臺階儀

產品簡介

NS200臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

產品型號:
更新時間:2024-07-18
廠商性質:生產廠家
訪問量:1630
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臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器,可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。


NS200臺階儀


臺階儀廣泛應用于:大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域。


NS200臺階儀特性:

1.出色的重復性和再現性,滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調

測力恒定可調,以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的精準接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。

4.頂視光學導航系統(tǒng),5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺, Z軸自動升降、360°全自動θ轉臺

6.強大的數據采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。


NS200臺階儀典型應用:

NS200臺階儀




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