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激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器SJ6000激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè),結(jié)合軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析,實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù),進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。

產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1529
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中圖儀器SJ6000激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè),結(jié)合軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析,實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù),進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。


功能

1.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;

2.可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

3.可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量;

4.可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);

5.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

6.具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

7.支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。


SJ6000激光干涉儀,國(guó)產(chǎn)激光干涉儀品牌.jpg


中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量分辨率可達(dá)0.01″,系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件構(gòu)成。作為一個(gè)交流測(cè)試系統(tǒng),當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí),其頻率不會(huì)受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化,也不會(huì)因電平變化造成干涉信號(hào)的頻率改變。因此,它的抗擾力強(qiáng),精度高,測(cè)量結(jié)果可靠,在精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測(cè)和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

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