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中圖儀器光學(xué)表面輪廓檢測儀可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測非常微小尺寸的器件。

中圖儀器SuperViewW系列三維光學(xué)表面輪廓儀分辨率可達(dá)0.1nm，測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測?？梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SuperViewW系列三維輪廓測量儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1系列光學(xué)表面輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性，詮釋始終如一的測量品質(zhì)。

光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)的3d輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器?？梢赃_(dá)到納米級(jí)的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。