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激光共聚焦顯微鏡在材料科學(xué)領(lǐng)域中的優(yōu)點

更新時間:2023-07-21點擊次數(shù):940

在材料科學(xué)領(lǐng)域中,激光共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng)。它可以通過使用空間針孔來阻擋散焦光來提高顯微圖像的光學(xué)分辨率和對比度。在圖像形成中,捕獲樣品中不同深度的多個二維圖像可重建三維結(jié)構(gòu)(即光學(xué)切片過程)。該技術(shù)廣泛用于科學(xué)和工業(yè)界,典型的應(yīng)用是生命科學(xué)、半導(dǎo)體檢查和材料科學(xué)。


作為一種先進的光學(xué)顯微鏡技術(shù),激光共聚焦顯微鏡可以揭示材料的微觀結(jié)構(gòu)和特征,推動著材料科學(xué)的發(fā)展。


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首先,激光共聚焦顯微鏡相比傳統(tǒng)的顯微鏡技術(shù)具有更高的分辨率和深度探測能力,對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。VT6000激光共聚焦顯微鏡可以獲得高達亞納米級的空間分辨率(高度分辨率0.5nm;寬度分辨率1nm。),能更好地揭示材料的微觀特征和晶體結(jié)構(gòu),使研究人員更容易深入研究材料的微觀結(jié)構(gòu)。

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其次,激光共聚焦顯微鏡非接觸式成像測量方式,不需要與樣品直接接觸,避免了可能對樣品造成損傷和污染。這使得不管是金屬材料還是納米材料等各種不同類型的材料,激光共聚焦顯微鏡都能進行觀察和分析,并且都能得到清晰的3d顯微成像。

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此外,激光共聚焦顯微鏡具有三維成像和實時觀察的優(yōu)勢。它可以構(gòu)建出樣品的三維表面形貌和內(nèi)部結(jié)構(gòu),這對于分析材料的三維形態(tài)、孔隙結(jié)構(gòu)和顆粒分布等特征十分重要。同時通過實時觀察樣品的三維成像過程,能更好的研究材料的動態(tài)變化和響應(yīng)。

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總的來說激光共聚焦顯微鏡具有高分辨率、非接觸式成像、三維成像和實時觀察等優(yōu)點,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)都可以測量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域,對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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