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數(shù)控機床檢測技術(shù)之激光干涉儀角度測量

更新時間:2022-12-12點擊次數(shù):2066

目前,在幾何量測量中最重要的激光技術(shù)是用廣電轉(zhuǎn)換條紋計數(shù)等方法來測量長度,這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測量及自動測量等優(yōu)點?;诩す飧缮鎯x技術(shù)的精密角度測量系統(tǒng),通過角度轉(zhuǎn)換裝置將角度量轉(zhuǎn)換為可以反映干涉光路中光程差變化的線性位移量,由此引起干涉條紋的變化,再通過相應電路對干涉條紋進行一系列處理,從而實現(xiàn)了對大轉(zhuǎn)角的精密測量。具有結(jié)構(gòu)簡單、誤差恒定、測量精度高、測角范圍大、易于數(shù)字化等特點。


激光干涉儀利用激光作為長度基準,可以對數(shù)控設備(加工中心、三坐標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量。其中角度測量主要應用于運動軸的角擺測量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測量??筛呔葯z測機床/三坐標精度誤差。


圖片1.jpg


激光干涉儀角度測量法原理

角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生轉(zhuǎn)角,或是移動過程中產(chǎn)生角擺,兩束反射光會有相對應的光程差產(chǎn)生,SJ6000采集到該光程差的干涉信號,經(jīng)過運算處理,即可得出對應的角度值。

圖片2.jpg

角度測量原理構(gòu)建圖


激光干涉儀測量角度基本配置:

角度測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足±10°范圍內(nèi)的角度測量。

圖片3.jpg

圖片4.jpg

運動軸的俯仰角度測量示意圖

圖片5.jpg

運動軸的偏擺角度測量示意圖



激光干涉儀測量機床精度之線性測量

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